Phương pháp: Dòng nhớt qua Choked Orifice
Dải lưu lượng: 1 đến 1000 sccm (tương đương N2)
Dải điều khiển: 5,0 đến 100% Toàn thang đo
Độ chính xác điển hình: ± 5,0% Toàn thang đo
Độ lặp: ± 0,2% Toàn thang đo
Độ phân giải: ± 0,1% Toàn thang đo
Nhiệt độ hoạt động: 30°C đến 100°C, có thể điều chỉnh
Dải nhiệt độ hoạt động tùy chọn: 90°C đến 150°C
Yêu cầu nguồn đầu vào của bộ điều khiển: ± 15 VDC (± 2%) tại 0,28 Amps
Yêu cầu nguồn đầu vào của bộ phận gia nhiệt: ± 15 VDC tại 1.5 Amps
Tín hiệu điểm đặt: 0-5 VDC từ <20K Ω
Tín hiệu đầu ra lưu lượng: 0-5 VDC into >10K Ω
Nhiệt độ đầu ra: 10 mV/°C
Tiếp điểm Rơle: 2 Amps tại 28 VDC; Điện trở 1 Amp tại 120 VAC
Đầu nối tín hiệu: 15-pin Type "D", RFI/EMI shielded
Đầu nối gia nhiệt: 9-pin Type "D", RFI/EMI shielded
Áp suất dòng tối đa: 35 psia
Loại đầu nối: Swagelok ® 8 VCR® male
Trọng lượng: 7,9 lbs (3,59 kg)
Tuân thủ: CE
