Dải lưu lượng: 2-20 sccm (vật liệu SDS)
10-1000 sccm (vật liệu khác)
(Tương đương N2)
Áp suất đầu vào tối đa: 5 psig
Dải đo điều khiển: 5% đến 100% Toàn thang đo
Độ chính xác điển hình: Phụ thuộc vào khí/tốc độ dòng chảy
Độ lặp: ± 0,2% Toàn thang đo
Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo
Hệ số nhiệt độ Zero: <0,02% Toàn thang đo/°C
Hệ số nhiệt độ Span: <0,2% giá trị đọc/°C
Thời gian khởi động: 30 phút
Thời gian ổn định điển hình: <5 giây
Nhiệt độ hoạt động: 0° đến 50°C
Yêu cầu nguồn điện: ± 15 VDC (± 5%) tại 200 mA
Tín hiệu đầu ra đầu vào lưu lượng: 0 đến 5VDC into >10K Ω
Vật liệu thấm ướt: 316L S.S., niken, Inconel®
Loại đầu nối: Swagelok® 4 VCR®
Tuân thủ: CE
