Dải đo lưu lượng: 5 đến 50.000 sccm (tương đương N2)
Áp suất đầu vào tối đa: 150 psig
Vi sai áp suất hoạt động thông thường: 10 - 5000 sccm; 10 - 40 psid
10000 - 20000 sccm; 15 - 40 psid
10000 - 20000 sccm; 15 - 40 psid (Toàn dải N2 với áp suất khí quyển tại đầu ra MFC)
Áp suất thử nghiệm: 1000 psig
Áp suất nổ: 1500 psig
Dải điều khiển: 2% đến 100% Toàn thang đo
Độ chính xác điển hình: ± 1% điểm đặt cho 20-100% Toàn thang đo
± 0,2% Toàn thang đo cho 2-20% Toàn thang đo
Độ lặp: ± 0,3% giá trị đọc
Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo
Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% Toàn thang đo/°C
Hệ số nhiệt độ khoảng: <0,08% giá trị đọc/°C
Hệ số áp suất đầu vào: <0,02% giá trị đọc/psi
Thời gian ổn định điển hình: <750 msec., Điển hình trên 5% Toàn thang đo
Thời gian khởi động: 30 phút
Nhiệt độ hoạt động: 10° đến 50°C
Độ ẩm lưu trữ: 0 đến 95% Độ ẩm tương đối, không ngưng tụ
Nhiệt độ lưu trữ: -20° đến 80°C
Hiển thị nhiệt độ: 0 đến 100°C
Độ chính xác nhiệt độ: ± 2°C
Độ phân giải nhiệt độ: 0,1°C
Màn hình: 4 ký tự cho giá trị, 4 ký tự cho đơn vị
Hiển thị áp suất: 0 đến 100 psia
Đơn vị đọc áp suất: psia, kPA
